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IPC國際專利分類查詢

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B	作業、運輸
B81	微米結構技術 [7]
B81B	微米結構的裝置或系統，如：微機械裝置（壓電、電致伸縮或磁致伸縮元件，其本體見H01L 41/00）[7]
B81C	專用於微米結構裝置或系統的製造或處理之方法或設備（製造微米膠囊或微米球，見B01J13/02；製造或處理壓電、電致伸縮或磁致伸縮元件之特殊方法或設備本身，見H01L41/22）[7]