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9筆資料
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B 作業、運輸
B81 微米結構技術 [7]
B81B 微米結構的裝置或系統,如:微機械裝置(壓電、電致伸縮或磁致伸縮元件,其本體見H01L 41/00)[7]
B81B 1/00不具有活動或可撓元件的裝置,例如微毛細管裝置 [7]
B81B 3/00具有可撓或可變形元件的裝置,例如具有彈性舌片或膜片組成(5/00優先)[7]
B81B 5/00具有可彼此相對移動元件的裝置,如:具有可滑動或可轉動元件 [7]
B81B 7/00微米結構系統 [7]
B81B 7/02包含個別特定功能相異的電氣或光學裝置,如:微電子機械系統(MEMS)(7/04優先)[7]
B81B 7/04類似微米結構裝置的網路或陣列[7]
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