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B	作業、運輸
B81	微米結構技術 [7]
B81C	專用於微米結構裝置或系統的製造或處理之方法或設備（製造微米膠囊或微米球，見B01J13/02；製造或處理壓電、電致伸縮或磁致伸縮元件之特殊方法或設備本身，見H01L41/22）[7]
B81C 1/00	在基片內或其上的裝置或系統之製造或處理（3/00優先）[7]
B81C 3/00	來自個別加工元件的裝置或系統之組裝 [7]
B81C 99/00	本次類其他各目中不包含之技術主題 [2010.01]